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J-GLOBAL ID：200903029473176274

プラズマ発生装置

Inventor： 豊田 一行
Applicant, Patent owner： 国際電気株式会社
Agent (1)： 三好 祥二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993208966
Publication number (International publication number)：1995045598
Application date： Jul. 30, 1993
Publication date： Feb. 14, 1995
Summary：

【要約】【目的】構造が簡単で製作費、メンテナンスコストの安価な而もプラズマ密度が均一であり、且プラズマの発生効率がよく、反応室を複雑にすることなく反応室上部を加熱冷却することの可能なプラズマ発生装置を提供する。【構成】プラズマ発生用の高周波コイル30の少なくとも一部をプラズマ発生空間34に露出させたものであり、或はプラズマ発生用コイルを中空とし、コイル内部に熱媒体を流通する様にし、プラズマ発生コイルに高周波電力を印加させて、プラズマ発生空間にプラズマを発生させ、又プラズマ発生コイルに熱媒体を流通させて、プラズマ発生空間を加熱又は冷却する。

Claim (excerpt)：

プラズマ発生用の高周波コイルの少なくとも一部をプラズマ発生空間に露出させたことを特徴とするプラズマ発生装置。

IPC (4)：

H01L 21/3065 ,  C23C 16/50 ,  H01L 21/205 ,  H05H 1/46