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J-GLOBAL ID：200903029478303665

フォトレジスト組成物のための反射防止膜

Inventor： ダラム・デイナ・エル ,  マカロック・イアン ,  ダメル・ラルフ・アール ,  ルー・ピン-ハン
Applicant, Patent owner： クラリアント・インターナショナル・リミテッド
Agent (1)： 江崎 光史 (外3名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1998510064
Publication number (International publication number)：2001505234
Application date： Aug. 15, 1997
Publication date： Apr. 17, 2001
Summary：

【要約】本発明は、新規の反射防止膜溶液およびそれをフォトリソグラフィーに使用する方法に関する。この反射防止膜溶液は、新規のポリマーおよび有機溶媒または有機溶媒の混合物を含有しており、その際新規のポリマーは、約180nm〜約450nmを吸収する染料を含有する単位と架橋基を含有する単位を含有する。

Claim (excerpt)：

フォトリソグラフィーに使用するための反射防止膜組成物において、a)以下の構造(式中、R1-R4は、H、(C1-C4)アルキルまたは(C1-C4)アルコキシであり、R5は、OH、NH2、OCH3、またはOCH2CH3であり、R6は、H、(C1-C4)アルキルまたは(C1-C4)アルコキシであり、R7は、H、(C1-C4)アルキル、(C1-C4)アルコキシ、ニトロ、クロロ、シアノ、ジシアノビニルまたはSO2CF3であり、R8は、ニトロ、クロロ、シアノ、ジシアノビニル、SO2CF3、SONH2、COOY、SO3Y、ここでYは、Hであり、Xは、N=N、CZ=CZ、CZ=N、N=CZの共役部分であり、ここでZは、H、(C1-C4)アルキルまたは(C1-C4)アルコキシであり、mは、1-3であり、nは、1-4である)を有する少なくとも一種の染料単位;および以下の構造(式中、Yは、架橋官能性を含有しておりそしてR1〜R3は、H、(C1-C4)アルキルまたは(C1-C4)アルコキシである)を有するポリマーを架橋することのできる少なくとも一種の単位を含有するポリマーおよびb)好適な有機溶媒を含有する上記反射防止膜組成物。

IPC (3)：

C08L 33/26 ,  C08F 8/30 ,  G03F 7/11 503

FI (3)：

C08L 33/26 ,  C08F 8/30 ,  G03F 7/11 503