感放射線性樹脂組成物

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：福沢俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999291291
Publication number (International publication number)：2001109157
Application date： Oct. 13, 1999
Publication date： Apr. 20, 2001
Summary：

【要約】【課題】化学増幅型レジストとして、放射線に対する透明性が高く、しかもドライエッチング耐性、感度、解像度、パターン形状等のレジストとしての基本物性に優れるとともに、微細加工時の現像欠陥を生じることがなく、半導体素子を高い歩留りで製造しうる感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】感放射線性樹脂組成物は、(A)下記式に示す各繰返し単位を有する樹脂に代表されるアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の酸解離性基含有樹脂であって、該酸解離性基が解離したときアルカリ可溶性となる樹脂、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有する。【化1】

Claim (excerpt)：

(A)下記一般式(1)に示す繰返し単位(1-I) 、繰返し単位(1-II) および繰返し単位(1-III) を有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の酸解離性基含有樹脂であって、該酸解離性基が解離したときアルカリ可溶性となる樹脂、並びに(B)感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】〔一般式(1)において、A1 およびB1 は相互に独立に水素原子または炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基を示し、X1 およびY1 は相互に独立に水素原子、1価の酸素含有極性基または1価の窒素含有極性基を示し、かつX1 とY1 の少なくとも1つは該酸素含有極性基または該窒素含有極性基であり、nは0〜2の整数であり、R1 は水素原子またはメチル基を示し、R2 は脂環式骨格を有する炭素数3〜15の2価の炭化水素基を示す。〕

IPC (2)：

G03F 7/039 601 , H01L 21/027

FI (2)：

G03F 7/039 601 , H01L 21/30 502 R

F-Term (17)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AA04 , 2H025AA09 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE07 , 2H025BE08 , 2H025BE10 , 2H025BF02 , 2H025BF03 , 2H025BG00 , 2H025FA17

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (6)

化学増幅型レジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-279070 Applicant：三星電子株式会社
化学増幅型ポジ型レジスト組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-191559 Applicant：住友化学工業株式会社
新規なエステル化合物、高分子化合物、レジスト材料、及びパターン形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-174945 Applicant：信越化学工業株式会社

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