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J-GLOBAL ID：200903029496114985

電子放出素子、それを用いた電子源、画像形成装置、及びそれらの製造方法

Inventor： 岸 博義
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 豊田 善雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996170725
Publication number (International publication number)：1997330650
Application date： Jun. 11, 1996
Publication date： Dec. 22, 1997
Summary：

【要約】【課題】 高品位画像形成装置を実現し得る電子ビーム源としての電子放出素子を提供する。【解決手段】 基板1上の素子電極2,3間に、電子放出部5を有する導電性膜4を備える電子放出素子において、導電性膜4が、基板1上での被覆形状が迷路図状のNi又はNiとNi酸化物からなる膜であることを特徴とする。【効果】 低電力で形状の揃った電子放出部を形成でき、素子毎の特性のバラツキを低減できる。

Claim (excerpt)：

基体上の一対の電極間に、電子放出部を有する導電性膜を備える電子放出素子において、前記導電性膜は、基板上での被覆形状が迷路図状のNi又はNiとNi酸化物からなることを特徴とする電子放出素子。

IPC (3)：

H01J 1/30 ,  H01J 9/02 ,  H01J 31/12

FI (3)：

H01J 1/30 B ,  H01J 9/02 B ,  H01J 31/12 C