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J-GLOBAL ID：200903029565260140

窒化物結晶の製造方法および製造装置

Inventor： 大嶋 江利子 ,  辻 秀人 ,  川端 紳一郎 ,  横山 千昭
Applicant, Patent owner： 三菱化学株式会社 ,  株式会社東北テクノアーチ
Agent (1)： 特許業務法人特許事務所サイクス
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005066543
Publication number (International publication number)：2005289797
Application date： Mar. 10, 2005
Publication date： Oct. 20, 2005
Summary：

【課題】 工業的に適用可能な比較的低圧の条件下で、不純物の少ない高品質の窒化物、特に、窒化ガリウムの結晶を得る方法を提供する。【解決手段】 少なくとも内側の表面がPtに代表される貴金属製である反応容器に原料とアンモニア溶媒を充填して前記反応容器を密閉した後、さらに前記反応容器を前記反応容器とは別の耐圧性容器内に挿入し、前記反応容器と前記耐圧性容器との間の空隙に第二溶媒を充填して前記耐圧性容器を密閉した後、昇温して窒化物結晶を製造する。【選択図】 なし

Claim (excerpt)：

少なくとも内側の表面が貴金属製の反応容器に原料とアンモニア溶媒を充填して前記反応容器を密閉した後、さらに前記反応容器を耐圧性容器内に挿入し、前記反応容器と前記耐圧性容器との間の空隙に第二溶媒を充填して前記耐圧性容器を密閉した後、昇温することにより窒化物結晶を得ることを特徴とする窒化物結晶の製造方法。

IPC (5)：

C30B29/38 ,  B01J3/00 ,  B01J3/06 ,  C01B21/06 ,  C30B7/10

FI (6)：

C30B29/38 D ,  B01J3/00 A ,  B01J3/06 T ,  B01J3/06 X ,  C01B21/06 M ,  C30B7/10

F-Term (14)：

4G077AA02 ,  4G077BE13 ,  4G077BE15 ,  4G077CB04 ,  4G077EA02 ,  4G077EA04 ,  4G077EG02 ,  4G077EG25 ,  4G077EJ09 ,  4G077HA12 ,  4G077KA03 ,  4G077KA09 ,  4G077KA11 ,  4G077KA12

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 結晶窒化ガリウム並びに結晶窒化ガリウムの形成法
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2001-527911   Applicant：ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ
• 超臨界流体中で材料を処理するための高温高圧カプセル
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2004-568274   Applicant：ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ
• 窒化物単結晶の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-046607   Applicant：三菱化学株式会社

Cited by examiner (3)

• 結晶窒化ガリウム並びに結晶窒化ガリウムの形成法
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2001-527911   Applicant：ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ
• 超臨界流体中で材料を処理するための高温高圧カプセル
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2004-568274   Applicant：ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ
• 窒化物単結晶の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-046607   Applicant：三菱化学株式会社