Pat

J-GLOBAL ID：200903029582897623

荷電粒子線の偏向角測定方法および装置

Inventor： 鈴木 寛 ,  品田 博之 ,  矢島 裕介 ,  ▲高▼橋 由夫 ,  黒田 勝広 ,  中島 真人 ,  斎藤 英雄
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 中村 純之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994055366
Publication number (International publication number)：1995262951
Application date： Mar. 25, 1994
Publication date： Oct. 13, 1995
Summary：

【要約】【目的】 電場や磁場による荷電粒子線の偏向角を測定する場合に、検出器を偏向領域の長さを無視できる程に遠方に設置しなくても、荷電粒子線の偏向角を正しく、かつ、精度よく計測できる測定方法および装置を実現する。【構成】 電子源11より放射された電子線12の経路に被測定対象である電場あるいは磁場の偏向領域14を設置し、その下方に、アクチュエータ16によって上下移動できる検出器15を設け、複数の検出器位置s1、s2、s3で荷電粒子線12の偏向量δl(s1)、δl(s2)、δl(s3)を計測し、これらのデータから計算により偏向角δθを求める。

Claim (excerpt)：

荷電粒子線源から放射された荷電粒子線の経路に被測定対象である電界あるいは磁界を配置し、該電界あるいは磁界によって偏向された上記荷電粒子線の偏向量を下方に設けた荷電粒子線の位置検出器で検出し、該偏向量から上記荷電粒子線の偏向角を測定する方法において、上記検出器と上記電界あるいは磁界との距離を少なくとも1回以上変化させて複数の偏向量を測定し、該複数の偏向量から計算で上記電界あるいは磁界による上記荷電粒子線の偏向角を求めることを特徴とする荷電粒子線の偏向角測定方法。

IPC (5)：

H01J 37/147 ,  G01B 7/30 101 ,  G01R 33/028 ,  H01J 37/20 ,  G01T 1/29