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J-GLOBAL ID：200903029619357225

力覚センサ

Inventor：
井出 隆之

About 井出 隆之


Applicant, Patent owner：
オリンパス光学工業株式会社

About オリンパス光学工業株式会社


Agent (1)： 鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000233352
Publication number (International publication number)：2002048661
Application date： Aug. 01, 2000
Publication date： Feb. 15, 2002
Summary：
【要約】【課題】本発明は、把持部に加わる各応力成分を分離して検出できる力覚センサを提供する。【解決手段】本発明の一態様によると、薄膜状半導体からなるセンサ基部と、上記センサ基部とほぼ同一の平面上に設けられ、上記センサ基部に接続された薄膜状半導体からなる起歪部と、上記起歪部とほぼ同一の平面上に設けられ、上記起歪部に接続された薄膜状半導体からなる把持部とを有し、上記起歪部には、上記把持部に加わる異なる方向の応力によって起歪部に発生する歪みを検出する第1、第2および第3の歪み電気変換素子がそれぞれ独立に設けられていることを特徴とする力覚センサが提供される。
Claim (excerpt)：
薄膜状半導体からなるセンサ基部と、上記センサ基部とほぼ同一の平面上に設けられ、上記センサ基部に接続された薄膜状半導体からなる起歪部と、上記起歪部とほぼ同一の平面上に設けられ、上記起歪部に接続された薄膜状半導体からなる把持部とを有し、上記起歪部には、上記把持部に加わる異なる方向の応力によって起歪部に発生する歪みを検出する第1、第2および第3の歪み電気変換素子がそれぞれ独立に設けられていることを特徴とする力覚センサ。
IPC (2)：
G01L 5/16 ,  H01L 29/84
FI (2)：
G01L 5/16 ,  H01L 29/84 B
F-Term (10)：
2F051AA10 ,  2F051AB10 ,  2F051DA02 ,  2F051DB01 ,  4M112AA01 ,  4M112BA01 ,  4M112CA02 ,  4M112CA05 ,  4M112CA12 ,  4M112EA03
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)
  • 力覚センサー
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-066468   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
  • 特開昭61-224465

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