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J-GLOBAL ID：200903029620878212

カンチレバーを利用したセンサ

Inventor： ルドルフ ヘルマン
Applicant, Patent owner： 株式会社堀場製作所
Agent (1)： 藤本 英夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994338602
Publication number (International publication number)：1996184500
Application date： Dec. 30, 1994
Publication date： Jul. 16, 1996
Summary：

【要約】【目的】 安定に動作し、高感度で測定することができ、しかも、機械的にも安定なカンチレバーを利用したセンサを提供すること。【構成】 熱膨張係数の異なる二種の金属からなるバイメタル構造のカンチレバー1の揺動端側にミラー6を設け、このミラー6に対して、干渉計に接続された光ファイバ7から光L1 を照射するように構成した。

Claim (excerpt)：

熱膨張係数の異なる二種の金属からなるバイメタル構造のカンチレバーの揺動端側にミラーを設け、このミラーに対して、干渉計に接続された光ファイバから光を照射するように構成したことを特徴とするカンチレバーを利用したセンサ。