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J-GLOBAL ID：200903029627621870

カーボン膜評価方法および磁気記録媒体の製造方法

Inventor： 西田 康代 ,  星 一男 ,  若生 仁志
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 佐藤 隆久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001212527
Publication number (International publication number)：2003028802
Application date： Jul. 12, 2001
Publication date： Jan. 29, 2003
Summary：

【要約】【課題】下地の影響を受けずにカーボン膜のラマンスペクトルを選択的に検出できるカーボン膜評価方法とそれを含む磁気記録媒体の製造方法を提供する。【解決手段】カーボン膜上に金属を接触させる工程と、カーボン膜の表面増強ラマンスペクトルを測定する工程と、表面増強ラマンスペクトルのほぼ1550〜1650cm-1にピークを有するバンドG(graphite)の強度IG と、ほぼ1350〜1450cm-1にピークを有するバンドD(disorder)の強度ID との比ID /IG に基づきカーボン膜の膜質を評価する工程とを有するカーボン膜評価方法と、ID /IG が0.1〜0.5の範囲にあることを確認する工程を含む磁気記録媒体の製造方法。

Claim (excerpt)：

カーボン膜上に金属を接触させる工程と、前記カーボン膜の表面増強ラマンスペクトルを測定する工程と、前記表面増強ラマンスペクトルのほぼ1550〜1650cm-1にピークを有するバンドG(graphite)の強度IG を求める工程と、前記表面増強ラマンスペクトルのほぼ1350〜1450cm-1にピークを有するバンドD(disorder)の強度ID を求める工程と、前記バンドGと前記バンドDとの強度比ID /IG に基づき前記カーボン膜の膜質を評価する工程とを有するカーボン膜評価方法。

IPC (3)：

G01N 21/65 ,  C23C 14/14 ,  G11B 5/84

FI (3)：

G01N 21/65 ,  C23C 14/14 D ,  G11B 5/84 C

F-Term (32)：

2G043AA03 ,  2G043CA07 ,  2G043EA03 ,  2G043JA01 ,  2G043KA01 ,  2G043KA02 ,  2G043KA05 ,  2G043KA09 ,  2G043LA01 ,  2G043NA01 ,  4K029AA02 ,  4K029AA09 ,  4K029AA11 ,  4K029AA24 ,  4K029BA06 ,  4K029BA09 ,  4K029BA12 ,  4K029BA24 ,  4K029BA25 ,  4K029BA26 ,  4K029BA34 ,  4K029BB02 ,  4K029BC06 ,  4K029BD11 ,  4K029CA01 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029DC32 ,  4K029DC39 ,  5D112AA07 ,  5D112BC05 ,  5D112JJ06