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J-GLOBAL ID：200903029655575336

露光装置における遮光領域制御機構

Inventor： 本田 勇二
Applicant, Patent owner： 九州日本電気株式会社
Agent (1)： 京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992229089
Publication number (International publication number)：1994077112
Application date： Aug. 28, 1992
Publication date： Mar. 18, 1994
Summary：

【要約】【目的】機械可動部により発生する塵埃をレティクル3に付着させることなく、レティクル3に透過する光を遮断し、レティクル3の任意の領域のパターンをウェーハ5に転写する。【構成】レティクル3に投射される光を暗色と明色で透過及び遮断する液晶板1を設け、入力設定部2aに入力したレティクル面上の座標値データで、駆動回路2を動作させ、液晶板1の任意の領域を暗色化して、所望領域のみ光を透過させてウェーハに転写する。従来のように機械的に可動する遮光板を無くしたことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

露光光源よりレティクルに投射させる光を受け明色部のみ透過させる液晶板1と、この液晶板に縦横に配列された液晶素子を動作させる駆動回路と、前記液晶板の暗色部領域の位置座標を入力し前記駆動回路に動作信号を出力する入力設定部を備えていることを特徴とする露光装置における遮光領域制御機構。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521