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J-GLOBAL ID：200903029671506026

ポリシラザン系塗布液及びそれを用いたセラミックス被膜の形成方法

Inventor： 橋本 晃 ,  渋谷 達彦 ,  萩原 嘉男 ,  清水 泰雄
Applicant, Patent owner： 東京応化工業株式会社 ,  東燃株式会社
Agent (1)： 阿形 明 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995281582
Publication number (International publication number)：1997125006
Application date： Oct. 30, 1995
Publication date： May. 13, 1997
Summary：

【要約】【課題】 保存中及び基材上への塗布時において、有毒ガスの発生を抑制することができ、またグローバル段差を平坦化しうるポリシラザン系塗布液、及びそれを用いたセラミックス被膜の形成方法を提供する。【解決手段】 沸点差が少なくとも30°Cの低沸点と高沸点の2種の有機溶剤から成り、かつ低沸点有機溶剤の含有量が溶剤全量の少なくとも50重量%である混合有機溶剤に、一般式【化1】(R1、R2及びR3は水素原子、炭化水素基、炭化水素置換シリル基若しくはアミノ基又はカルビルオキシ基で、R〜R3の少なくとも1個は水素原子である)で表わされる繰り返し単位から成るポリシラザン系樹脂を溶解したポリシラザン系塗布液、及びこの塗布液を基材上に塗布、乾燥、焼成してセラミックス被膜を形成させる方法である。

Claim (excerpt)：

一般式【化1】(式中のR1、R2及びR3はそれぞれ水素原子、炭化水素基、炭化水素置換シリル基、炭化水素置換アミノ基又はカルビルオキシ基であり、R1、R2及びR3の少なくとも1個は水素原子である)で表わされる繰り返し単位から構成された主骨格を有するポリシラザン系樹脂を有機溶剤に溶解した溶液から成るポリシラザン系塗布液において、該有機溶剤として、沸点差が少なくとも30°Cの低沸点と高沸点の2種の有機溶剤から成り、かつ低沸点有機溶剤の含有量が溶剤全量の少なくとも50重量%である混合有機溶剤を用いることを特徴とするセラミックス被膜形成用ポリシラザン系塗布液。

IPC (2)：

C09D183/16 PMM ,  C08G 77/62 NUM

FI (2)：

C09D183/16 PMM ,  C08G 77/62 NUM