除振制御装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：柳田良徳 (外8名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993003982
Publication number (International publication number)：1994207639
Application date： Jan. 13, 1993
Publication date： Jul. 26, 1994
Summary：

【要約】【目的】距離が離れた複数点間の微振動による相対変位をキャンセルする。【構成】距離を有して配設される複数の基礎部6と、支持台4を介して基礎部6上に支持される除振台3と、除振台3の3次元変位を検出する変位センサ8a、8bと、前記支持台4と除振台3間に装着され除振台を3次元的に移動させるアクチュエータ9a、9bと、前記除振台3上に配設される除振対象となる装置1、2とを備え、前記変位センサにより各除振台の3次元変位を検出し、この信号により前記アクチュエータを駆動させることにより、除振対象となる装置における3次元変位を一致するように制御する。

Claim (excerpt)：

距離を有して配設される複数の基礎部と、支持台を介して前記基礎部上に支持される除振台と、該除振台の3次元変位を検出する変位センサと、前記支持台と除振台間に装着され除振台を3次元的に移動させるアクチュエータと、前記除振台上に配設される除振対象となる装置とを備え、前記変位センサにより各除振台の3次元変位を検出し、この信号により前記アクチュエータを駆動させることにより、除振対象となる装置における3次元変位を一致するように制御することを特徴とする除振制御装置。

IPC (4)：

F16F 15/02 , E04B 1/98 , E04H 9/02 331 , G12B 9/08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

特公平4-063112
特開昭63-198326
特開平2-210813

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