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J-GLOBAL ID：200903029685833496

ガス混合物の化学濃度を調合・制御する方法および装置

Inventor：
センタンニ、ミヒャエル エイ

About センタンニ、ミヒャエル エイ


Applicant, Patent owner：
ステリス コーポレーション

About ステリス コーポレーション


Agent (1)： 板垣 孝夫
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2006514885
Publication number (International publication number)：2007532862
Application date： May. 17, 2004
Publication date： Nov. 15, 2007
Summary：
チャンバ内ガス混合物の不活性化化学薬品の濃度を調合・制御する方法および装置。ガス混合物には基剤化学薬品である化学成分とともに不活性化化学薬品である化学成分が含まれ、基剤化学薬品は不活性化化学薬品の希釈剤または不活性化化学薬品のビヒクルまたはキャリアとして作用する。コンデンサをガス混合物に曝し、ガス混合物はコンデンサの板間で誘電物を構成する。誘電物の誘電率は化学成分の相対濃度によって影響を受けるので、容量の測定値をガス混合物の多数の化学成分の濃度レベルの決定に使用する。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
貫流チャンバ内の汚染物質を不活性化する方法であって、 チャンバに第1の化学成分を導入し、 チャンバ内の第1の化学成分の濃度を第1の所定の濃度に増加し、 チャンバに第2の化学成分を導入し、 チャンバ内の第2の化学成分の濃度を第2の所定の濃度に増加する ことが含まれる方法であって、 第1および第2の板を有する少なくとも1つのコンデンサを、チャンバに導入した第1および第2の化学成分に曝し、 少なくとも1つのコンデンサの電気特性の変化を決定する ことで第1および第2の化学成分の濃度を決定し、この際、前記電気特性の変化は第1および第2の化学成分の濃度の変化に応じて変化することを特徴とする方法。
IPC (3)：
G01N 27/22 ,  A62D 3/30 ,  B01J 4/02
FI (4)：
G01N27/22 A ,  A62D3/00 610 ,  A62D3/00 300 ,  B01J4/02 A
F-Term (13)：
2G060AA01 ,  2G060AE19 ,  2G060AF11 ,  2G060KA01 ,  4G068AA02 ,  4G068AA06 ,  4G068AB01 ,  4G068AB04 ,  4G068AC17 ,  4G068AD16 ,  4G068AD39 ,  4G068AE02 ,  4G068AF36
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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