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J-GLOBAL ID：200903029731483527
多ビーム発生素子
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992130313
Publication number (International publication number)：1993323110
Application date： May. 22, 1992
Publication date： Dec. 07, 1993
Summary：
【要約】【目的】 本発明は光学装置等に用いられるレーザ光を複数本に分ける多ビーム発生素子に関するものであり、その目的とするところは、高い光利用効率をもち、発生させる多ビームの一様性が良く、かつ簡単なプロセスで作成できる多ビーム発生素子を提供することにある。【構成】 多ビーム発生素子において、基板2上に設けられたグレーティング7は、2段階の位相レベルをもつ少なくとも3個の不均等幅の矩形パターンから構成される。
Claim (excerpt)：
基板上に基準位相パターンを繰り返し配置したグレーティングを設けた多ビーム発生素子において、前記基準位相パターンは2段階の位相レベルをもつ少なくとも3個の不均等幅の矩形パターンからなり、少なくとも3つのビームを発生することを特徴とする多ビーム発生素子。
Patent cited by the Patent：
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