Pat

J-GLOBAL ID：200903029733631485

光電検出方法及びそれを用いた光電検出装置

Inventor： 田中 浩
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 高梨 幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995096095
Publication number (International publication number)：1996274016
Application date： Mar. 29, 1995
Publication date： Oct. 18, 1996
Summary：

【要約】【目的】 センサ面とシ-ルガラスとの間の光の干渉を防ぎ、歪のない信号波形を得て、正確な光学像計測が可能な光電検出方法及びそれを用いた光電検出装置を得ること。【構成】 光電センサを光電検出系の入射光軸に対して所定量傾け、該光電センサのシ-ルガラスからの反射光がセンサ面に入射しないように配置したこと。

Claim (excerpt)：

光電検出光学系と光電センサによって物体の像を検出する光電検出装置において、該光電センサを前記光電検出光学系の入射光軸に対して傾けて配置したことを特徴とする光電検出装置。

IPC (5)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/30 ,  H01L 31/02

FI (7)：

H01L 21/30 502 G ,  G01B 11/00 Z ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 ,  H01L 21/30 502 M ,  H01L 21/30 521 ,  H01L 31/02 B