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J-GLOBAL ID：200903029769576570

感光性ポリアミック・アルキル・エステル組成物およびその使用方法

Inventor： ジェフリー・ウィリアム・ラバディー ,  デニス・リチャード・マッキーン ,  ウィリー・フォルクセン ,  グレゴリー・マイケル・ウォーラフ
Applicant, Patent owner： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
Agent (1)： 頓宮 孝一 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992206386
Publication number (International publication number)：1993197148
Application date： Aug. 03, 1992
Publication date： Aug. 06, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、基板上にポリイミドの画像を形成するための感光性ネガおよびポジ階調組成物を提供することを目的とする。【構成】 本発明の感光性ネガ階調組成物は、ポリアミック アルキル エステルおよび感光性塩基発生剤を含む。本発明の感光性ポジ階調生成物は、ポリアミック アルキル エステル塩基もしくは塩基前駆体および感光性酸発生剤を含む。

Claim (excerpt)：

ポリアミック アルキル エステルおよび感光性塩基発生剤を含んでなるネガ階調組成物。

IPC (5)：

G03F 7/038 504 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/039 ,  G03F 7/38 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (16)

• 特開昭62-135824
  
• 特開平3-136054
  
• 特開平3-192260
  
• 特許第436457号
  
• 特開昭62-229242
  
• 特開昭63-013032
  
• 特開平2-181149
  
• 特開平3-020743
  
• 特開平3-115461
  
• 特開平3-153257
  
• 特開平3-204649
  
• 特開平4-120171
  
• 特開平4-151156
  
• 特開平4-162040
  
• 特開平4-330444
  
• 耐熱性ポジ型フオトレジスト組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-065634   Applicant：日東電工株式会社