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J-GLOBAL ID：200903029782530805

非球面の偏心測定方法および測定装置

Inventor： 前田 伸夫
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 三品 岩男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995037224
Publication number (International publication number)：1996233686
Application date： Feb. 24, 1995
Publication date： Sep. 13, 1996
Summary：

【要約】【目的】非球面レンズの偏心測定において、より簡素化された測定機構で、より高精度の測定を可能とする偏心測定装置を提供する。【構成】被検レンズ1を回転可能の支持するレンズ保持装置100と、被検レンズ1の非球面2を角変位量を非球面2上で反射された反射レーザ光13aを用いて検出する角変位検出装置200と、両装置の動作制御及び偏心量の演算を行なう演算制御装置300とを有し、レンズ保持装置100は、被検レンズ1を固定する雇9と、雇9を回転させる回転駆動機構11と、雇9の回転角を検出する回転角検出器12a及び回転角目盛12bとを有し、角変位検出装置200は、角変位量を測定する角変位計13と、角変位計13を半径方向に対し移動させる直動駆動機構15と、回転軸3から角変位計13までの半径距離を検出する移動距離検出器16a及び移動距離検出器目盛板16bとを有する。

Claim (excerpt)：

回転対称軸を有する非球面光学素子の偏心測定装置において、前記回転対称軸と予め定めた測定基準軸とが概略一致した状態で、前記非球面光学素子を固定する保持部材と、前記非球面光学素子の非球面表面の傾斜角及びその方向に応じて変化する物理量である角変位量を検出する角変位量検出手段と、前記保持部材を介して前記非球面光学素子を、前記測定基準軸を回転中心軸として、前記角変位量検出手段に対して相対的に回転させる回転駆動手段と、前記回転駆動手段により回転されて変化する、前記角変位量検出手段に対する前記非球面光学素子の相対的な回転角を検出する回転角検出手段と、前記角変位量検出手段を支持すると共に、該支持位置を前記回転中心軸に対して直角方向に変位可能とする半径距離調整手段と、前記回転中心軸から、前記角変位量検出手段の支持位置までの半径距離を検出する半径距離検出手段と、前記非球面光学素子の非球面形状に関する情報を記憶する記憶手段と、前記角変位量検出手段により検出された角変位量と、該角変位量が検出された時点に、前記半径距離検出手段により検出された半径距離及び前記回転角検出手段により検出された回転角と、前記記憶手段に記憶されている前記非球面形状に関する情報とを用いて、前記測定基準軸である前記回転中心軸と前記非球面光学素子の回転対称軸との空間的位置関係を定義づける偏心量を演算する演算手段とを有することを特徴とする偏心測定装置。