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J-GLOBAL ID：200903029793464340

基板搬送装置および露光装置

Inventor： 宮島 義一
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997089913
Publication number (International publication number)：1998270349
Application date： Mar. 26, 1997
Publication date： Oct. 09, 1998
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 基板をエアパッドにより浮上させ位置決めする際に基板の浮上状態を安定化し振動を抑制する。【解決手段】 基板を搬送しエアパッド24を有する可動ステージに受渡す搬送ハンド14を備えた基板搬送装置である。搬送ハンドの機構内に設けられ基板面のパターン描画平面内と該平面に垂直な軸回りとに基板を微動させる微動機構15と、水平及び垂直方向に移動可能な搬送ハンド本体部17と本体部に対し鉛直方向に弾性支持され、基板を水平に保持する基板吸着部とからなる。基板のエアパッドからの浮上量検出手段と、搬送ハンド本体部に対し鉛直方向に各基板吸着部を駆動するアクチュエータと、基板受渡し位置でハンド本体部を鉛直方向に降下させ基板をエアパッドに押付け、空気を吹出して基板を微量浮上させ、微動機構により基板の位置決めを行う際、検出手段の出力で駆動装置を駆動し基板の傾斜補正、浮上量補正や振動抑制を行う制御手段を備える。

Claim (excerpt)：

基板を搬送してエアーパッドを有する可動ステージに受け渡す搬送ハンドを備えた基板搬送装置であって、該搬送ハンドの機構内に設けられ前記基板を該基板面に描かれたパターン描画平面内と該平面に垂直な軸回りとに微動させる微動機構と、該搬送ハンドを構成する、水平および鉛直方向に移動可能な前記搬送ハンドの本体部、および該本体部に対し鉛直方向に弾性支持され、前記基板を水平に保持する基板吸着部と、前記基板の前記エアーパッドからの浮上量を検出する手段と、前記搬送ハンド本体部に対して前記各基板吸着部を鉛直方向に駆動するアクチュエータと、前記可動ステージとの基板受け渡し位置において前記搬送ハンド本体部を鉛直方向に降下させ前記基板を前記可動ステージ上のエアーパッドに接触または押し付け、該エアーパッドからエアーを吹き出して前記基板を微少量浮上させ、前記微動機構により該基板を微動させて該基板の位置決めを行なう際、前記検出手段の出力に基づいて前記アクチュエータを駆動し、前記基板の傾き補正、浮上量補正および振動抑制の少なくとも1つを行なう制御手段とを具備することを特徴とする基板搬送装置。

IPC (5)：

H01L 21/027 ,  B65G 43/00 ,  B65G 49/07 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68

FI (6)：

H01L 21/30 514 D ,  B65G 43/00 E ,  B65G 49/07 E ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/30 525 E