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J-GLOBAL ID：200903029803184325

ボロメ-タ用酸化物薄膜および該酸化物薄膜を用いた赤外線センサ

Inventor： 森 透 ,  川野 勝弥
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 金田 暢之 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999194502
Publication number (International publication number)：2000143243
Application date： Jul. 08, 1999
Publication date： May. 23, 2000
Summary：

【要約】【課題】 非冷却型の赤外線センサに適用される酸化物ボロメータ材料には、従来TCRも比抵抗も大きい材料、あるいは比抵抗は小さいがTCRも小さい材料が使われているためノイズが小さく温度分解能(NETD)を小さくすることが困難であった。【解決手段】 酸化バナジウムをVOxと表したときに1.5≦x≦2.0を満足し、かつVの一部が他の金属イオンMで置換され、前記Mがクロム(Cr)、アルミニウム(Al)、鉄(Fe)、マンガン(Mn)、ニオブ(Nb)、タンタル(Ta)、チタン(Ti)のうち少なくとも一種からなる酸化物からなる、ボロメータ用酸化物薄膜。並びに該薄膜を用いたマイクロブリッジ構造を有する赤外線センサ。

Claim (excerpt)：

ボロメータ用酸化物薄膜であって、該酸化物が、酸化バナジウムをVOxと表したときに1.5≦x≦2.0を満足し、かつVの一部が他の金属イオンMで置換され、、前記Mがクロム(Cr)、アルミニウム(Al)、鉄(Fe)、マンガン(Mn)、ニオブ(Nb)、タンタル(Ta)、チタン(Ti)のうち少なくとも一種からなることを特徴とするボロメータ用酸化物薄膜。

IPC (7)：

C01G 31/00 ,  C01G 33/00 ,  C01G 35/00 ,  C01G 37/00 ,  C01G 45/00 ,  C01G 49/00 ,  G01J 1/02

FI (7)：

C01G 31/00 ,  C01G 33/00 A ,  C01G 35/00 ,  C01G 37/00 ,  C01G 45/00 ,  C01G 49/00 A ,  G01J 1/02 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 熱型赤外線検出器
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-238055   Applicant：株式会社ニコン