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J-GLOBAL ID：200903029815789494
液晶表示装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高橋 光男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992084538
Publication number (International publication number)：1993249493
Application date： Mar. 06, 1992
Publication date： Sep. 28, 1993
Summary：
【要約】【目的】 アクティブマトリクス型液晶表示装置に組み込まれる薄膜トランジスタの保護構造を改良し信頼性を向上させる。【構成】 液晶表示装置は下部基板1と上部基板とを貼り合わせ液晶を挟持した構造を有する。下部基板1の表面にはマトリクス状に配列された画素電極15とこの画素電極を駆動する薄膜画素トランジスタ12とからなる表示部と、この表示部に接続されており且つ薄膜トランジスタ3,4等で構成された水平駆動回路部及び垂直駆動回路部とが形成されている。表示部、水平駆動回路部及び垂直駆動回路部に含まれる薄膜トランジスタ3,4,12の上部と配線部8の上部のみに窒化シリコン保護膜10を設けている。かかる構成により、薄膜トランジスタの電気特性劣化を防止できるとともに金属配線8の腐蝕断線を防止する事ができる。
Claim (excerpt)：
マトリクス状に配列された画素電極とこの画素電極を駆動する薄膜トランジスタとからなる表示部と、この表示部に接続されており且つ薄膜トランジスタで構成された水平駆動回路部及び垂直駆動回路部とが形成されたアクティブマトリクス基板と、対向電極を有し前記アクティブマトリクス基板に対向配置された上部基板と、前記アクティブマトリクス基板と上部基板との間に保持された液晶層とを備え、前記表示部、水平駆動回路部及び垂直駆動回路部に含まれる薄膜トランジスタの上部と配線部のみに窒化シリコン系保護膜を設けた事を特徴とする液晶表示装置。
IPC (3)：
G02F 1/136 500
, H01L 27/12
, H01L 29/784
Cited by examiner (7)
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