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J-GLOBAL ID：200903029821743498

マイクロメカニカルセンサを使用する電磁放射および放射線検出器

Inventor： タンダット,トーマス,ジー. ,  ワーマック,ロバート,ジェイ. ,  ウォックター,エリック,エー.
Applicant, Patent owner： ロッキード マーチン エナジー システムズ,インコーポレイテッド
Agent (1)： 大塚 康徳 (外1名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1997526184
Publication number (International publication number)：2001516441
Application date： Jan. 17, 1997
Publication date： Sep. 25, 2001
Summary：

【要約】電磁放射および放射線は、様々な相互作用材料がコートされるマイクロメカニカルセンサ(20)により検出される。マイクロメカニカルセンサ(20)が放射を吸収すると、センサ(20)は曲がる、および/または、共振特性のシフトを受ける。曲げおよび共振の変化は、光、静電容量およびピエゾ抵抗法を含む幾つかの検出方法により高感度に検出される。広い帯域の電磁スペクトラムがピコジュール感度で検出され、特定の吸収コーティングが特定の波長帯に選択的な感度を得るのに使用される。光クロスリンキングポリマがコートされたマイクロカンチレバー(20)は、集積化光放射強度計として有用である。放射線の強度測定は、様々な原子核粒子および放射線に感度をもつ材料からカンチレバー(20)をつくることによって可能である。放射に曝されると、カンチレバーの形状およびコーティングの特性に基づき、カンチレバー(20)は、応力により曲がり、伸縮特性が変化することによりその共振周波数がシフトする。

Claim (excerpt)：

電磁放射および/または放射線を検出する方法であって、 放射源にカンチレバーを曝して、前記カンチレバーの少なくとも一つの物理 特性に放射の影響を受けさせ、 前記少なくとも一つの物理特性の放射に誘発される変化をモニタし、 前記少なくとも一つの物理特性の変化を放射量に関連付けることを特徴とす る検出方法。

IPC (2)：

G01T 1/02 ,  G01J 1/00

FI (2)：

G01T 1/02 B ,  G01J 1/00 H