反射防止構造体を有する部材およびその製造方法

Inventor： , , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小笠原史朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004324135
Publication number (International publication number)：2006133617
Application date： Nov. 08, 2004
Publication date： May. 25, 2006
Summary：

【課題】大面積で曲面形状あるいは複雑形状の表面であっても、高精度な反射防止構造体を有する部材およびその製造方法を提供する。【解決手段】部材101の表面に触媒機能を持った核102形成を行う。次に、核102の上に結晶を成長させることにより針状結晶103の集合体で構成された反射防止構造体を形成する。反射防止構造体を形成する工程は、化学蒸着法、気相エピタキシー法、あるいは分子線エピタキシー法のうちのいずれかの方法により行う。核102の上には、炭素、珪素、炭化珪素、窒化硼素、二酸化珪素の中から選ばれる少なくとも1種類を含む結晶を成長させる。これにより、触媒機能を有する核結晶を介して表面に形成された針状結晶103の集合体である反射防止構造体を有する部材が得られる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

部材と、前記部材の表面に形成された反射防止構造体とを備え、前記反射防止構造体は、触媒機能を有する核結晶を介して前記表面に形成された針状結晶の集合体であることを特徴とする、反射防止構造体を有する部材。

IPC (8)：

G02B 1/11 , G02B 7/02 , G02F 1/035 , G03B 9/02 , G03B 11/04 , G03B 21/60 , H01L 33/00 , H01L 31/04

FI (8)：

G02B1/10 A , G02B7/02 D , G02F1/035 , G03B9/02 Z , G03B11/04 A , G03B21/60 Z , H01L33/00 A , H01L31/04 F

F-Term (41)：

2H021BA02 , 2H021BA10 , 2H044AD01 , 2H079AA02 , 2H079AA12 , 2H079BA01 , 2H079BA03 , 2H079CA05 , 2H079DA03 , 2H079EA05 , 2H079EA27 , 2H080AA10 , 2H080AA13 , 2H080DD01 , 2H083BB01 , 2H083BB03 , 2K009AA12 , 2K009BB02 , 2K009BB04 , 2K009CC01 , 2K009CC02 , 2K009CC03 , 2K009CC12 , 2K009DD01 , 2K009DD03 , 5F041AA03 , 5F041CA04 , 5F041CA12 , 5F041CA22 , 5F041CA36 , 5F041CA77 , 5F041CB36 , 5F051AA02 , 5F051BA16 , 5F051CB12 , 5F051CB20 , 5F051DA03 , 5F051DA20 , 5F051FA13 , 5F051FA16 , 5F051GA04

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

カバーガラス及び光学部品
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-307671 Applicant：セイコーエプソン株式会社
除湿乾燥機
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-203904 Applicant：三菱電機株式会社
赤外線光学素子およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-221514 Applicant：松下電器産業株式会社

Show all

Return to Previous Page