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J-GLOBAL ID：200903029915955758

光ファイバープローブ及びそれを備える走査型プローブ顕微鏡

Inventor： 中嶋 健 ,  原 正彦 ,  藤田 大介
Applicant, Patent owner： 理化学研究所 ,  独立行政法人物質・材料研究機構
Agent (1)： 平木 祐輔 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002325920
Publication number (International publication number)：2003207437
Application date： Nov. 08, 2002
Publication date： Jul. 25, 2003
Summary：

【要約】【課題】 蛍光観察が可能でありSNOMの感度が高いSNOM/STM、及び局所光照射を可能にし熱膨張の影響を軽減した照射STMを提供する。【解決手段】 SNOMで用いる開口型光ファイバープローブ11の開口部33にITO薄膜35をコーティングし、このITO薄膜35をSTM用の電極とする。

Claim (excerpt)：

走査型プローブ顕微鏡に用いられる光ファイバープローブにおいて、円錐状に突出した先端部を有する光ファイバーと、前記先端部の最先端領域以外の領域からの光入出射を防止する遮光膜と、前記最先端領域に被覆されたITO薄膜とを備えることを特徴とする光ファイバープローブ。

IPC (3)：

G01N 13/14 ,  G01B 21/30 ,  G01N 13/12

FI (5)：

G01N 13/14 B ,  G01N 13/14 A ,  G01B 21/30 ,  G01N 13/12 A ,  G01N 13/12 D

F-Term (7)：

2F069AA60 ,  2F069GG06 ,  2F069GG07 ,  2F069GG62 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ08 ,  2F069LL03

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 光STM装置用探針及び光STM装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-266656   Applicant：日本電信電話株式会社
• 走査型トンネル顕微鏡およびそれによる試料表面の原子分析方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-046472   Applicant：日本電信電話株式会社
• 微小開口を有するプローブの作製法とそれによるプローブ、並びに該プローブを用いた走査型近接場光顕微鏡と走査型トンネル顕微鏡との複合装置、および該プローブを用いた記録再生装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-103361   Applicant：キヤノン株式会社
• 特開平3-171434
  
• 走査型プローブ顕微鏡及びこれを用いた光吸収物質の検出方法並びに顕微分光方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-272456   Applicant：前田康二

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• SNOMによる分光評価