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J-GLOBAL ID：200903029923413042

高速追尾式レーザ干渉測長器

Inventor： 後藤 充夫 ,  中村 収 ,  豊田 幸司 ,  谷村 吉久 ,  中俣 透 ,  黒沢 俊郎 ,  高井 望
Applicant, Patent owner： 工業技術院長 ,  株式会社東京精密
Agent (2)： 松浦 憲三 ,  松浦 憲三 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994125443
Publication number (International publication number)：1995332922
Application date： Jun. 07, 1994
Publication date： Dec. 22, 1995
Summary：

【要約】【目的】高速で移動する移動体にも追尾できる追尾式レーザ干渉測長器を提案する。【構成】回転体108に設けられた光学系は、レーザ光源から回転体に導かれたレーザビームを分割し、一方のレーザビームを前記X軸と直交する光路を経由して逆反射体106に入射させるとともに、他方のレーザビームを前記光路の延長上に出射し、移動体に配設される逆反射体110に入射させる。そして、逆反射体106、110からの反射光の干渉に基づいて逆反射体110の変位量を検出するようにしてる。逆反射体110からの反射光はフォトダイオード112に入射して位置ずれ信号を発生させる。ずれ量が小さい場合には、回転体108のみで移動体に追従し、ずれ量が大きい場合にはコリメータユニット102を傾動して移動体に追従させる。コリメータユニット102は傾動した後は、回転体108が回動し、回転体108に対して基準位置に戻る。

Claim (excerpt)：

移動体に配設された第1の逆反射体と、直交するX軸及びY軸の回りにそれぞれ回動自在な回転体と、傾動自在に配設されレーザ源からのレーザビームを平行光線に形成するコリメータユニットと、レーザ光源から発振されたレーザビームを前記回転体の回動にかかわらず該回転体に導く手段と、前記回転体に固定配設された複数の光学部品からなる光学系であって、前記回転体に導かれたレーザビームを分割し、分割した一方のレーザビームを前記X軸とY軸の交点を通る直線上の光路で前記第1の逆反射体に入射させるとともに、他方のレーザビームを第2の逆反射体に入射させ、前記第1及び第2の逆反射体からの反射光をそれぞれ得る光学系と、前記第1の逆反射体からの反射光と第2の逆反射体から反射した参照光との干渉に基づいて前記第1の逆反射体の移動量を検出する検出部と、前記回転体に固定配設され、前記第1の逆反射体からの反射光の一部が入射され、前記第1の逆反射体に入射するレーザビームのずれ量に応じた位置信号を出力する位置検出手段と、前記位置検出手段からの位置信号に基づいて前記ずれ量がゼロになるように第1の応答速度で前記コリメータユニットの傾きを制御する第1の制御手段と、前記位置検出手段からの位置信号及び/又は前記コリメータユニットの基準位置からの傾きを示す信号に基づいて、前記コリメータユニットを前記基準位置に戻すように第2の応答速度で前記回転体の前記X軸及びY軸回りの回動位置を制御する第2の制御手段と、から成ることを特徴とする高速追尾式レーザ干渉測長器。

IPC (3)：

G01B 9/02 ,  G01J 3/45 ,  G01J 9/02