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J-GLOBAL ID：200903029950593834

光ディスク用フォトレジスト

Inventor： 飯田 哲哉 ,  樋口 隆信 ,  佐々木 宏尚 ,  尾越 国三
Applicant, Patent owner： パイオニア株式会社
Agent (1)： 石川 泰男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992058050
Publication number (International publication number)：1993258358
Application date： Mar. 16, 1992
Publication date： Oct. 08, 1993
Summary：

【要約】【目的】 解像度が損なわれることなく現像の分解能が向上しており、したがって再生時のノイズレベルが低くてCN比(搬送波対雑音比)が向上した高密度の光ディスクを得ることのできる光ディスク用フォトレジストを提供する。【構成】 感光剤とベース・レジンとを含有し、次式(1);A=(a1 -a2)m10...(1)[ただし、式(1)において、a1 は感光剤のモル吸光係数、a2 はベース・レジンのモル吸光係数、m10は最初の感光剤濃度を表わす。]で表わされるA値が、1.2≦A値≦2.0の範囲にあるとともに、次式(2);B=(a2 m20+a3 m10)...(2)[ただし、式(2)において、a2 はベース・レジンのモル吸光係数、a3 は分解生成物のモル吸光係数、m10は最初の感光剤濃度、m20はベース・レジンの濃度(一定)を表わす。]で表わされるB値が、B値≦0.3の関係を満たす光ディスク用フォトレジストである。

Claim (excerpt)：

感光剤とベース・レジンとを含有し、光ディスク原盤の作製に使用されるポジ型フォトレジストにおいて、次式(1);A=(a1 -a2 )m10 (1)[ただし、前記式(1)において、a1 は感光剤のモル吸光係数を表わし、a2はベース・レジンのモル吸光係数を表わし、m10は最初の感光剤濃度を表わす。]で表わされるA値が、1.2≦A値≦2.0の範囲にあるとともに、次式(2);B=(a2 m20+a3 m10) (2)[ただし、前記式(2)において、a2 はベース・レジンのモル吸光係数を表わし、a3 は分解生成物のモル吸光係数を表わし、m10は最初の感光剤濃度を表わし、m20はベース・レジンの濃度(一定)を表わす。]で表わされるB値が、B値≦0.3の関係を満たすことを特徴とする光ディスク用フォトレジスト。

IPC (2)：

G11B 7/26 501 ,  G03F 7/023 511

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平1-300443
  
• 特開昭54-105709
  
• 特開昭61-104761