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J-GLOBAL ID：200903029951812939

赤外線検出器及びその製造方法

Inventor： 中木 義幸 ,  秦 久敏 ,  曽根 孝典
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 青山 葆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999149659
Publication number (International publication number)：2000337959
Application date： May. 28, 1999
Publication date： Dec. 08, 2000
Summary：

【要約】【課題】 簡素な構造の赤外線検出器及び、このような赤外線線検出器を容易かつ低コストで製造することができる製造方法を提供する。【解決手段】 赤外線を透過させる透過用基板3と、透過用基板3との間に密閉空間11が形成されるように透過用基板3に接合された基板1と、基板1の表面に形成されかつ密閉空間11内に配置された赤外線を検出する検出素子2と備える赤外線検出器20に、密閉空間11内の水分及び気体を吸収して密閉空間11を実質的に真空に保持する該密閉空間11内に配置されるゲッターとして、バルク形状の材料を350°C以上に加熱して水分及び気体を吸収するように活性化させたバルク型ゲッター4を用いた。

Claim (excerpt)：

赤外線を透過させる透過用基板と、上記透過用基板との間に密閉空間が形成されるように上記透過用基板に接合された基板と、上記基板の表面に形成されかつ上記密閉空間内に配置された赤外線を検出する検出素子と、上記密閉空間内の水分及び気体を吸収して該密閉空間を実質的に真空に保持する該密閉空間内に配置されたゲッターとを有し、上記透過用基板を介して入射された赤外線を上記検出素子で検出する赤外線検出器であって、上記ゲッターは、バルク形状の材料を350°C以上に加熱して水分及び気体を吸収するように活性化させたバルク型ゲッターであることを特徴とする赤外線検出器。

IPC (2)：

G01J 1/02 ,  H01L 31/02

FI (2)：

G01J 1/02 C ,  H01L 31/02 B

F-Term (15)：

2G065AB02 ,  2G065BA11 ,  2G065BA12 ,  2G065BA13 ,  2G065BA14 ,  2G065BA38 ,  2G065CA23 ,  5F088BA01 ,  5F088BA11 ,  5F088BA16 ,  5F088BB06 ,  5F088BB10 ,  5F088JA07 ,  5F088JA20 ,  5F088LA01