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J-GLOBAL ID：200903029968179253
大気圧吹き出し型プラズマ反応装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
西澤 利夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991272853
Publication number (International publication number)：1994108257
Application date： Oct. 21, 1991
Publication date： Apr. 19, 1994
Summary：
【要約】 (修正有)【構成】 吹き出し口2端縁に突先部を設けた金属筒1を電極とし、この電極金属筒1の吹き出し口2より希ガス、不活性ガスおよび/または空気、もしくはこれらと反応性ガスとの混合ガス5を吹き出して電圧を印加し、大気圧下で放電プラズマを生成させてなる大気圧吹き出し型プラズマ反応装置、およびこれを用いる反応方法の提供。【効果】 簡便な構造で、高効率な大気圧でのグロープラズマ等の反応が可能となる。
Claim (excerpt)：
吹き出し口端縁に突先部を設けた金属筒を電極とし、この電極金属筒の吹き出し口より希ガス、不活性ガスおよび/または空気、もしくはこれらと反応性ガスとの混合ガスを吹き出して電圧を印加し、大気圧下で放電プラズマを生成させてなることを特徴とする大気圧吹き出し型プラズマ反応装置。
IPC (5)：
C23C 16/50
, B01J 19/08
, C23C 14/12
, C23C 14/32
, C08J 7/00 306
