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J-GLOBAL ID：200903030008005399
ポリイミド系前駆体組成物、その製造法、これを用いた半導体装置および光学装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
若林 邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994039644
Publication number (International publication number)：1995247425
Application date： Mar. 10, 1994
Publication date： Sep. 26, 1995
Summary：
【要約】【目的】 前処理なしに、またはフッ素を含有する場合でも基板に対する接着性に優れたポリイミド系ポリマーを形成することができるポリイミド系前駆体組成物、その製造法、これを用いた半導体装置および光学装置を提供する。【構成】 ポリイミド系前駆体に有機ジルコニウム化合物を含有させてなるポリイミド系前駆体組成物、テトラカルボン酸二無水物とジアミンを極性溶媒中で反応させて得られるポリイミド系前駆体溶液に有機ジルコニウム化合物を添加するポリイミド系前駆体組成物の製造法および前記ポリイミド系前駆体組成物を基板上に塗布、硬化してなる半導体装置等。
Claim (excerpt)：
ポリイミド系前駆体に有機ジルコニウム化合物を含有させてなるポリイミド系前駆体組成物。
IPC (3)：
C08L 79/04 LRB
, C08K 5/56
, H01L 21/312
