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J-GLOBAL ID：200903030020144396

セル駆動型マイクロポンプ部材及び製造方法

Inventor： 武内 幸久 ,  辻 裕之 ,  北村 和正 ,  高橋 伸夫
Applicant, Patent owner： 日本碍子株式会社
Agent (1)： 渡邉 一平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001206368
Publication number (International publication number)：2003072061
Application date： Jul. 06, 2001
Publication date： Mar. 12, 2003
Summary：

【要約】【課題】 高温加熱プロセスが適用出来、低コストで量産可能であって、スリット部分が直線形状以外のセルを有し、スリット部分が60μm以下の幅のセルを有し、又、高アスペクト比なセルを有し、高い電界強度で駆動出来得て、更には、小さな電界強度で、より大きな変位とより速い応答性を両立し得る、マイクロポンプ部材と、その製造方法を提供すること。【解決手段】 基体2内部に形成された複数のセル3を加圧室46として用い、加圧室46を形成する側壁6を圧電/電歪体により構成し、圧電/電歪体の変位により加圧室46の体積を変化させて加圧室46に圧力を生じせしめるマイクロポンプ部材であって、加圧室46が、隣接する加圧室46と独立して形成されているセル駆動型マイクロポンプ部材44の提供による。

Claim (excerpt)：

基体内部に形成された複数のセルを加圧室として用い、前記加圧室を形成する側壁を圧電/電歪体により構成し、前記圧電/電歪体の変位により前記加圧室の体積を変化させて加圧室に圧力を生じせしめるマイクロポンプ部材であって、前記加圧室が、隣接する加圧室と独立して形成されていることを特徴とするセル駆動型マイクロポンプ部材。

IPC (3)：

B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16

FI (2)：

B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H

F-Term (7)：

2C057AF51 ,  2C057AF93 ,  2C057AG47 ,  2C057AG59 ,  2C057AP22 ,  2C057BA03 ,  2C057BA14

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

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  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-127789   Applicant：シチズン時計株式会社