基板支持装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：保立浩一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997273487
Publication number (International publication number)：1999091946
Application date： Sep. 20, 1997
Publication date： Apr. 06, 1999
Summary：

【要約】【課題】基板の周縁に近い表面領域まで十分に良質な処理が行えるとともに基板の支持が不安定になることがないようにする。【解決手段】垂直なベース板11に設けられたほぼ円形の開口の縁には、垂直な基板2の下縁に当接して支える弾性によって支持位置が変化しない固定支持爪141と、基板2の側縁に当接して基板2を挟み込む開閉可能な二つの可動支持爪142,143とが取り付けられている。可動支持爪142,143は開閉機構によって開閉され、基板2が下降して固定支持爪141の上に載せられる際に基板2の中心に対して5度から45度高い側縁の位置で基板2に当接し始め、基板2が固定支持爪141に支持された状態では基板2の中心よりも高い位置で側縁に当接する。可動支持爪142,143は板バネ155の先端に設けられており、開閉機構は基板2の中心よりも低い位置で板バネ155に当接して開閉動作を行う。

Claim (excerpt)：

円形の基板を垂直に保持しながらその円形の基板に所定の処理を施す基板処理装置においてその基板の支持のために使用される基板支持装置であって、垂直な姿勢で取り付けられるベース板と、基板の周縁に当接して基板を垂直に支持するようベース板に取り付けられた三つの支持爪とを備え、これら三つの支持爪の一つは、基板の下縁に当接して基板を支えるものであって基板の支持の際には弾性によって位置が変化することのない固定支持爪であり、他の二つの支持爪は、基板の側縁に当接して基板を挟み込むものであるとともに基板の着脱の際に開閉される可動支持爪であり、さらに、この二つの可動支持爪は、基板が固定支持爪に支持された状態において基板の中心の高さの位置よりも高い位置の側縁を当接にするよう設けられていることを特徴とする基板支持装置。

IPC (5)：

B65G 49/07 , B23Q 3/06 303 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500 , H01L 21/68

FI (5)：

B65G 49/07 E , B23Q 3/06 303 G , G02F 1/13 101 , G02F 1/1333 500 , H01L 21/68 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

インライン式成膜装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-099648 Applicant：アネルバ株式会社

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