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J-GLOBAL ID：200903030038833296

光偏向器

Inventor： 井関 隆之
Applicant, Patent owner： 日本ビクター株式会社
Agent (1)： 三好 秀和 (外9名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999206591
Publication number (International publication number)：2001033727
Application date： Jul. 21, 1999
Publication date： Feb. 09, 2001
Summary：

【要約】【課題】 反射ミラー部の剛性を維持しつつ反射ミラー部の軽量化により高速で揺動すると共に、低い駆動電力の下でも広偏向角で揺動する。【解決手段】 表面に光反射面7aを有する反射ミラー部7と、この反射ミラー部7をベース2に対して揺動自在に支持する一対の支持部8,8と、ベース2の反射ミラー部7側に配置された一対の固定電極10,11とを有し、この一対の固定電極10,11と反射ミラー部7との間に電圧を印加して静電力で反射ミラー部7が一対の支持部8,8を揺動中心軸CLとして揺動する光偏向器1Aにおいて、反射ミラー部7の厚みを、光反射面7aを有する表面側が平面を保持しつつ、光反射面7aの裏面側が各支持部8から両側の自由端に向かうに従って連続的に薄くなるように形成した。即ち、反射ミラー部7の裏面をリニアな傾斜面20とした。

Claim (excerpt)：

表面に光反射面を有する反射ミラー部と、この反射ミラー部をベースに対して揺動自在に支持する一対の支持部と、前記ベースの反射ミラー部側に配置された一対の固定電極とを有し、この一対の固定電極と前記反射ミラー部との間に電圧を印加して静電力で前記反射ミラー部が前記一対の支持部を揺動中心軸として揺動する光偏向器において、前記反射ミラー部の厚みを、前記光反射面を有する表面側が平面を保持しつつ、前記光反射面の裏面側が前記各支持部から少なくとも一方の自由端に向かうに従い徐々に薄くなるように形成したことを特徴とする光偏向器。

IPC (2)：

G02B 26/10 104 ,  G02B 26/08

FI (2)：

G02B 26/10 104 ,  G02B 26/08 E

F-Term (7)：

2H041AA02 ,  2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ03 ,  2H045AB06 ,  2H045AB16