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J-GLOBAL ID：200903030047258733

リアルタイム位相シフト干渉計

Inventor： 小沼 一雄 ,  亀山 哲也 ,  桑山 茂純 ,  中村 亨
Applicant, Patent owner： 工業技術院長 ,  株式会社応用計測研究所
Agent (2)： 安形 雄三 (外1名) ,  安形 雄三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993349474
Publication number (International publication number)：1995198319
Application date： Dec. 28, 1993
Publication date： Aug. 01, 1995
Summary：

【要約】【目的】 従来のリアルタイム位相シフト干渉計及びこれを応用した2次元情報取得装置では、ガラス表面等に付着したごみ等に基づく光学的ノイズにより干渉縞が大きく歪んだので、この光学的ノイズを除去する。【構成】 光干渉計の光路中に拡散板を移動可能な状態で挿入し、前記拡散板を動かして光の干渉作用を時間的に変化させると共に、該干渉作用の時間平均演算を光検出手段の蓄積効果を利用して行い、光学的ノイズを除去し、安定かつ精度良く光の位相ずれを計測する。

Claim (excerpt)：

光路中に移動可能な1枚叉は複数枚の拡散板を挿入した光干渉計において、前記拡散板を移動せしめ光の干渉作用を時間的に変化させると共に、該干渉作用の時間平均演算を行って光の位相ずれを計測するようにしたことを特徴とするリアルタイム位相シフト干渉計。

IPC (3)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/24 ,  G01N 21/45

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開平2-243910
  
• 観察光学系
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-103608   Applicant：コニカ株式会社
• 特開昭61-275635
  
• 特開平2-243910
  
• 特開昭61-275635