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J-GLOBAL ID：200903030085783078

レーザ加工装置

Inventor： 引間 郁雄 ,  遠藤 一正 ,  岩本 譲治
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991331458
Publication number (International publication number)：1993185254
Application date： Nov. 20, 1991
Publication date： Jul. 27, 1993
Summary：

【要約】【目的】 加工対象物の形状に起因する加工不良又は加工形状のばらつきが生じないようにする。【構成】 レーザ光LB1を発生するレーザ光源5と、そのレーザ光LB1を加工対象物2に導く光学系6,7,8と、この光学系の光路中に配置されそのレーザ光LB1の偏光状態をその加工対象物2に応じて変化させる偏光可変板12とを有する。

Claim (excerpt)：

レーザ光を発生するレーザ光源と、前記レーザ光を加工対象物に導く光学系と、該光学系の光路中に配置され前記レーザ光の偏光状態を前記加工対象物に応じて変化させる偏光状態変換手段とを有する事を特徴とするレーザ加工装置。

IPC (7)：

B23K 26/00 ,  B23K 26/06 ,  G02B 5/30 ,  G02B 27/28 ,  H01L 21/82 ,  H01S 3/101 ,  B23K101:40

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭61-262479
  
• 特開昭62-089594
  
• 特開平1-122682