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J-GLOBAL ID：200903030097880354

露光装置

Inventor： 鈴木 康之 ,  安藤 謙二 ,  大谷 実 ,  枇榔 竜二 ,  金沢 秀宏
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997097228
Publication number (International publication number)：1998289854
Application date： Apr. 15, 1997
Publication date： Oct. 27, 1998
Summary：

【要約】【課題】 長期間の使用によっても露光照度の低下しない、ウエハ上での照度ムラの変化の少ない、安定した露光を行うことのできる露光装置の提供。【解決手段】 光源から発した光をレンズを含む光路上を通過させ、レチクルを通して、露光対象物上に露光する露光装置において、光路を取り囲み、露光光の散乱光が入射する鏡筒等の少なくとも1部の内面に活性酸素生成触媒をコーティングし、酸素雰囲気に保持して露光中に活性酸素が生成される露光性能の劣化しない露光装置。

Claim (excerpt)：

光源からの光束をレンズを含む光学系を介して通過させ、レチクルを通して露光対象物上に露光する露光装置において、光路を取り囲み、露光光の散乱光が入射する鏡筒等の少なくとも1部の内面に活性酸素生成触媒をコーティングして、酸素雰囲気に保持することを特徴とする露光装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2)：

H01L 21/30 516 F ,  G03F 7/20 521