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J-GLOBAL ID:200903030125325264

コンベア式基板加熱炉

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996317521
Publication number (International publication number):1998163623
Application date: Nov. 28, 1996
Publication date: Jun. 19, 1998
Summary:
【要約】【課題】 メッシュレス・基板加熱炉において、センター・コンベアを中央に固定してサイド・コンベアとの間隔を広げたり狭めたりするために、炉幅の半分以下のものしか搬送できず、広い基板の熱処理ができない。また、幅の異なる基板を同時に熱処理をすることも不可能である。【解決手段】 2列のメッシュレス・コンベア3を有する基板加熱炉1において、駆動チェーン3a、3bをそれぞれのころがし機構4の外側に配設し、一方の駆動チェーン3aを固定し、他方の駆動チェーン3b及びころがし機構4をコンベア3の幅方向に移動可能にする。
Claim (excerpt):
基板搬送コンベアを有するコンベア式加熱炉であって、該コンベアは配列されたころがし機構と、該ころがし機構の両側に配される2つの駆動チェーン機構とからなり、該ころがし機構と該駆動チェーン機構とにより基板の両端を支持して同時に2列に基板を搬送することができる並列メッシュレスコンベアであることを特徴とするコンベア式基板加熱炉。
IPC (4):
H05K 3/34 507 ,  H05K 3/34 ,  B23K 1/008 ,  F27B 9/24
FI (4):
H05K 3/34 507 L ,  H05K 3/34 507 K ,  B23K 1/008 C ,  F27B 9/24 E

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