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J-GLOBAL ID：200903030154258800

形状測定装置および方法

Inventor： 星 幸一
Applicant, Patent owner： 株式会社フローベル
Agent (1)： 稲本 義雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997093376
Publication number (International publication number)：1998281742
Application date： Apr. 11, 1997
Publication date： Oct. 23, 1998
Summary：

【要約】【課題】 透明な部分を含む試料の形状を測定する。【解決手段】 光学装置30に内蔵されている射影パターンの像を、ガラス基板92の下面に結像させたときのステージ25に対するビデオカメラ27(光学装置29)の位置から、ガラス基板92の上面に結像させたときのステージ25に対するビデオカメラ27(光学装置29)の位置までの距離をL6とする。だだし、このときビデオカメラ27のピントはリブトップ91tに合わせておく。またガラス基板92の屈折率をnとすると、制御回路2は、次式からガラス基板92の高さH6を演算する。H6=n(H3-L6)また、制御回路2は、次式から隔壁91の高さH2を演算する。H2=H3-H6

Claim (excerpt)：

射影パターンを内蔵し、試料に前記射影パターンの像を結像させる光学手段と、前記試料の一方の面を撮像する第1の撮像手段と、前記試料の前記一方の面に対向する他方の面を撮像する第2の撮像手段と、前記第1の撮像手段と前記第2の撮像手段の位置を測定する測定手段と、前記測定結果から前記試料の形状を求めるための演算を行う演算手段とを備えることを特徴とする形状測定装置。

IPC (2)：

G01B 11/24 ,  G01M 11/00

FI (2)：

G01B 11/24 K ,  G01M 11/00 T

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭57-059107
  
• 薄膜の形状計測方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-019748   Applicant：富士通株式会社
• 特開昭57-059107