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J-GLOBAL ID：200903030167165585

半導体装置及びその製造方法

Inventor： 小 野 瑞 城
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (5)： 吉武 賢次 ,  橘谷 英俊 ,  佐藤 泰和 ,  吉元 弘 ,  川崎 康
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005336062
Publication number (International publication number)：2007142270
Application date： Nov. 21, 2005
Publication date： Jun. 07, 2007
Summary：

【課題】ゲート絶縁膜中の電場を緩和するとともに素子の電流駆動力を高め、高速動作を可能にし、且つ高信頼性、高性能の半導体装置を提供する。【解決手段】基板に設けられた半導体領域3と、それぞれの端部が互いに向かい合うように離間して半導体領域に設けられたソースおよびドレイン領域4a、4bと、ソースおよびドレイン領域上とソース領域およびドレイン領域間の領域上とに設けられた半導体層5と、半導体層を介してソース領域およびドレイン領域間の領域上に設けられたゲート絶縁膜7と、ゲート絶縁膜上に設けられたゲート電極8と、を備えている。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

基板に設けられた半導体領域と、 それぞれの端部が互いに向かい合うように離間して前記半導体領域に設けられたソースおよびドレイン領域と、 前記ソースおよびドレイン領域上と前記ソース領域およびドレイン領域間の領域上とに設けられた半導体層と、 前記半導体層を介して前記ソース領域およびドレイン領域間の領域上に設けられたゲート絶縁膜と、 前記ゲート絶縁膜上に設けられたゲート電極と、を備えたことを特徴とする半導体装置。

IPC (6)：

H01L 29/78 ,  H01L 29/41 ,  H01L 29/872 ,  H01L 29/47 ,  H01L 29/417 ,  H01L 29/786

FI (8)：

H01L29/78 301S ,  H01L29/44 L ,  H01L29/48 F ,  H01L29/50 M ,  H01L29/78 616T ,  H01L29/78 616V ,  H01L29/78 618C ,  H01L29/78 626A

F-Term (102)：

4M104AA01 ,  4M104AA02 ,  4M104AA05 ,  4M104AA09 ,  4M104BB01 ,  4M104BB03 ,  4M104BB19 ,  4M104BB20 ,  4M104BB21 ,  4M104BB22 ,  4M104BB23 ,  4M104BB24 ,  4M104BB25 ,  4M104BB27 ,  4M104BB28 ,  4M104BB40 ,  4M104CC03 ,  4M104DD03 ,  4M104DD66 ,  4M104DD84 ,  4M104EE03 ,  4M104EE05 ,  4M104EE09 ,  4M104EE12 ,  4M104EE14 ,  4M104EE16 ,  4M104FF07 ,  4M104FF27 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  5F110AA01 ,  5F110AA07 ,  5F110BB04 ,  5F110CC02 ,  5F110CC09 ,  5F110DD05 ,  5F110DD13 ,  5F110EE09 ,  5F110EE22 ,  5F110EE30 ,  5F110EE32 ,  5F110EE45 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF09 ,  5F110FF29 ,  5F110GG02 ,  5F110GG03 ,  5F110GG04 ,  5F110GG12 ,  5F110GG17 ,  5F110GG22 ,  5F110GG32 ,  5F110GG52 ,  5F110HK05 ,  5F110HK17 ,  5F110HM02 ,  5F110NN62 ,  5F110QQ19 ,  5F140AA01 ,  5F140AA29 ,  5F140BA01 ,  5F140BA03 ,  5F140BA07 ,  5F140BA17 ,  5F140BA20 ,  5F140BB04 ,  5F140BB05 ,  5F140BC06 ,  5F140BC12 ,  5F140BD01 ,  5F140BD05 ,  5F140BD07 ,  5F140BD09 ,  5F140BD11 ,  5F140BE10 ,  5F140BF01 ,  5F140BF04 ,  5F140BF42 ,  5F140BF43 ,  5F140BF47 ,  5F140BG03 ,  5F140BG08 ,  5F140BG12 ,  5F140BG14 ,  5F140BG28 ,  5F140BG36 ,  5F140BG38 ,  5F140BG40 ,  5F140BH07 ,  5F140BH25 ,  5F140BH26 ,  5F140BH27 ,  5F140BJ01 ,  5F140BJ08 ,  5F140BJ25 ,  5F140BJ30 ,  5F140CB04 ,  5F140CD01 ,  5F140CE07