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J-GLOBAL ID：200903030187755400

試料ホルダ

Inventor： 葭村 昭子
Applicant, Patent owner： アネルバ株式会社
Agent (1)： 田宮 寛祉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995090341
Publication number (International publication number)：1996264625
Application date： Mar. 23, 1995
Publication date： Oct. 11, 1996
Summary：

【要約】【目的】 TEM観察用試料の調整で使用されるイオンミリング装置の試料ホルダにおいて、短時間で正確に試料の中心部を薄片化し孔を開ける。【構成】 試料11を配置する位置決め用収容部を有する支持板12と、この収容部に配置された試料11を押さえる支持板13からなり、収容部に試料が配置された状態で支持板の中心位置と試料の中心位置が一致するようにする。収容部は、例えば試料を支持するための段部12cを形成する径の異なる2つの孔12a,12bによって形成され、2つの孔は同軸孔で支持板に貫通孔として形成される。

Claim (excerpt)：

イオンミリング装置に使用される試料ホルダであり、試料を配置する収容部を有する支持板と、前記収容部に配置された前記試料を押さえる押え部材を含み、前記収容部に前記試料が配置された状態で前記支持板の中心位置と前記試料の中心位置が一致することを特徴とする試料ホルダ。

IPC (4)：

H01L 21/68 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/305 ,  H01L 21/3065

FI (4)：

H01L 21/68 N ,  H01J 37/20 A ,  H01J 37/305 ,  H01L 21/302 D