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J-GLOBAL ID：200903030194071630
赤外線検出素子
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
川瀬 幹夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991246324
Publication number (International publication number)：1993248939
Application date： Sep. 26, 1991
Publication date： Sep. 28, 1993
Summary：
【要約】【目的】 温度による抵抗の変化を利用して赤外線を検出する赤外線検出素子に関し、赤外線検出部の熱容量を下げ、応答性の速い赤外線検出素子を提供することを目的とする。【構成】 半導体基板10の片面に赤外線検出部10を形成し、赤外線検出部10の裏面に半導体基板10を除去した熱分離空間3を形成し、赤外線検出部70は薄膜抵抗体40を対向した櫛型の電極50の間隙に配して形成されている赤外線検出素子。
Claim (excerpt)：
半導体基板10の片面に赤外線検出部70を形成し、赤外線検出部70の裏面に半導体基板10を除去した熱分離空間3を形成し、赤外線検出部70は薄膜抵抗体40を対向した櫛型の電極50の間隙に配して形成されていることを特徴とする赤外線検出素子。
IPC (2)：
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