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J-GLOBAL ID：200903030226592760

表面観察装置用プローブおよびその製造方法ならびに表面観察装置

Inventor： 田中 伸司 ,  佐藤 一雄 ,  田勢 隆 ,  保坂 純男 ,  本多 幸雄 ,  大西 毅
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 中村 純之助 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991170012
Publication number (International publication number)：1993018740
Application date： Jul. 10, 1991
Publication date： Jan. 26, 1993
Summary：

【要約】【目的】製造コストを安価とし、原子間力や磁気力等の表面観察を高分解能、高感度で行なう。【構成】探針11をプレート12と一体で形成し、プレート12の探針11が突き出している側と反対側の面に保持板13をプレート12と一体に構成する。

Claim (excerpt)：

探針と、試料と上記探針との間に作用した力を変位に変換するプレートとを有する表面観察装置用プローブにおいて、上記探針を上記プレートと一体で形成し、上記プレートの上記探針が突き出している側と反対側の面に保持板を上記プレートと一体に構成したことを特徴とする表面観察装置用プローブ。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平3-096854
  
• 特開昭63-091502
  
• 特開平2-059601