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J-GLOBAL ID：200903030229845928

金属試料表面の欠陥検査方法及び装置

Inventor： 西田 真史 ,  添田 正彦 ,  林 謙太
Applicant, Patent owner： 大日本印刷株式会社
Agent (1)： 高矢 諭 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998336042
Publication number (International publication number)：2000163582
Application date： Nov. 26, 1998
Publication date： Jun. 16, 2000
Summary：

【要約】【課題】 収縮処理による孤立点除去を行う場合でも、画像上にリング状領域として現われる穴状欠陥を確実に検査できるようにする。【解決手段】 金属試料表面を3つの異なる仰角から照明して撮影し、得られた各仰角の画像データにそれぞれR、G、Bを割当てた3つの画像データからRGBカラー画像を合成し、該合成画像に基づいて欠陥の検査を行う際、前記合成画像(a)に対して、該画像上に存在する孤立点Pを除去する収縮処理を施す前に、同画像上に存在するリング領域からなる欠陥部Dの内側が埋まる画素数の膨張処理を行って(b)とし、その後、膨張画素数と孤立点除去に必要な画素数の和の画素数分だけ前記収縮処理を施して(C)にして欠陥部Dを残す。

Claim (excerpt)：

金属試料表面を3つの異なる仰角から照明して撮影し、得られた各仰角の画像データにそれぞれR、G、Bを割当てた3つの画像データからRGBカラー画像を合成し、該合成画像に基づいて欠陥の検査を行う金属試料表面の欠陥検査方法であって、前記合成画像に対して、該画像上に存在する孤立点を除去する収縮処理を施す前に、同画像上に存在するリング領域の内側が埋まる画素数の膨張処理を行い、その後、膨張画素数と孤立点除去に必要な画素数の和の画素数分だけ前記収縮処理を施すことを特徴とする金属試料表面の欠陥検査方法。

IPC (3)：

G06T 7/00 ,  G01N 21/88 ,  G01N 21/89

FI (3)：

G06F 15/62 405 A ,  G01N 21/88 J ,  G01N 21/89 610 B

F-Term (23)：

2G051AA37 ,  2G051AA62 ,  2G051AB07 ,  2G051BA01 ,  2G051BA08 ,  2G051BC06 ,  2G051CA04 ,  2G051ED03 ,  2G051ED14 ,  5B057CA01 ,  5B057CA02 ,  5B057CE02 ,  5B057CE05 ,  5B057CE08 ,  5B057CE18 ,  5B057CF01 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB05 ,  5B057DB06 ,  5B057DB09 ,  5B057DC14 ,  5B057DC25