静圧気体軸受

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：森哲也 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996030854
Publication number (International publication number)：1997222124
Application date： Feb. 19, 1996
Publication date： Aug. 26, 1997
Summary：

【要約】【課題】静圧空気軸受の小形化、軽量化及び低コスト化を図る。【解決手段】軸受パッド9a及び9bの軸受面51に真空吸着用溝18を設ける。軸受パッド9aの軸受面51からの圧縮空気噴出による垂直方向の浮上力と真空吸着用溝18での真空吸引による垂直方向の真空吸着力に軸受パッド9a,9bの重力とをバランスさせることにより、軸受パッド9aを垂直方向に支持し、軸受パッド9bの軸受面51からの圧縮空気噴出による水平方向の浮上力と真空吸着用溝18での真空吸引によるの水平方向の真空吸着力とをバランスさせることにより、軸受パッド9bを水平方向に支持する。

Claim (excerpt)：

固定体と、該固定体に設けた平面状の案内面に軸受すき間を介して対向する平面状の軸受面を有する軸受パッドとを備え、前記軸受面には前記軸受すき間に圧縮気体を噴出する圧縮気体噴出部と固定体を吸引する真空吸着部とを設けたことを特徴とする静圧気体軸受。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

静圧軸受装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-000976 Applicant：株式会社東芝
静圧移動案内装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-121358 Applicant：富士通オートメーション株式会社
非接触型移動テーブル
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-227975 Applicant：株式会社新川

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