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J-GLOBAL ID：200903030250460564

蒸着重合装置

Inventor： 多田 勲 ,  長嶋 直樹 ,  高橋 善和 ,  飯島 正行
Applicant, Patent owner： 日本真空技術株式会社
Agent (1)： 飯阪 泰雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991321361
Publication number (International publication number)：1993132760
Application date： Nov. 08, 1991
Publication date： May. 28, 1993
Summary：

【要約】[構成] モノマの蒸発源容器7の下方近傍に真空排気系2が配設され、排気バルブ13は真空室1aと真空排気系2とを気密に仕切る。空間CとDとを遮断するシャッター10の上部にはプレートヒータ12が設けられており、シャッター10を加熱することができる。蒸着終了時に、蒸発源加熱ヒータ9の加熱が停止され、蒸発源容器7のモノマの蒸発レートが不安定となるが、シャッター10が閉じられ、更に真空排気系2が空間Dの近傍に配設されているので、基板3にこれらモノマが流出して付着することはない。また、シャッター10を加熱しているのでシャッター10に付着したモノマを除去することができ、モノマが容器7へ落下するのを防止する。[効果] 不安定な蒸発レートのモノマが基板に付着することはなくモノマの蒸発レートを安定させて、基板上に形成される高分子被膜の質を良好なものとすることができる。

Claim (excerpt)：

真空室における蒸着源容器に供給された原料モノマを加熱手段により蒸発させ、前記蒸発源容器の上方に開閉自在のシャッターを設けた蒸着重合装置において、前記真空室に排気系を連通させる開口を該真空室の底壁部において前記蒸発源容器の下方に形成し、前記シャッターに加熱体を設けたことを特徴とする蒸着重合装置。

IPC (3)：

C23C 14/24 ,  C08J 7/04 ,  C23C 14/12