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J-GLOBAL ID：200903030264913707

位相シフト法による三次元形状測定装置

Inventor： 崎田 隆二 ,  鎌田 照己
Applicant, Patent owner： 株式会社リコー
Agent (1)： 高野 明近 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001059053
Publication number (International publication number)：2002257528
Application date： Mar. 02, 2001
Publication date： Sep. 11, 2002
Summary：

【要約】【課題】 大きな面積を持つ対象面の三次元形状を、位相シフト法を用い高精度かつ高速に測定する三次元形状測定装置を提供する。【解決手段】 照明ユニット2を用いて、被検物3の軸方向に正弦波状の強度分布を持ったライン照明4を投影する。被検物3上の正弦波状ライン照明4が投影された場所を、被検物3の軸方向に画素が並べられたラインセンサカメラ1を用いて撮像する。被検物駆動用モータ5によって被検物3を回転することにより、被検物3の全面の撮像を行い、位相シフト法により被検物の三次元形状を測定する。

Claim (excerpt)：

被検物と正弦波状の強度分布を持つライン照明する正弦波状ライン照明ユニットと、該照明ユニットによって照明された場所を撮像するラインセンサカメラと、被検物を前記ラインセンサカメラの素子の並びに対して垂直方向に駆動する駆動装置及びそのコントローラと、前記ラインセンサカメラの撮像位置での正弦波状ライン照明の位相を変化させるための駆動装置及びそのコントローラと、それら全体の動きを制御するための演算処理装置とを備え、位相シフト法により被検物の三次元形状を測定することを特徴とする三次元形状測定装置。

IPC (3)：

G01B 11/25 ,  G01B 11/24 ,  G06T 1/00 315

FI (3)：

G06T 1/00 315 ,  G01B 11/24 E ,  G01B 11/24 K

F-Term (37)：

2F065AA49 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065BB06 ,  2F065CC02 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065FF66 ,  2F065FF67 ,  2F065GG04 ,  2F065HH01 ,  2F065HH06 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL13 ,  2F065LL30 ,  2F065MM03 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ26 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ43 ,  2F065UU01 ,  2F065UU05 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB08 ,  5B057CB13 ,  5B057CB16 ,  5B057CH11 ,  5B057DB03 ,  5B057DB09 ,  5B057DC09 ,  5B057DC36