Z移動ステージ機構

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995241592
Publication number (International publication number)：1997086888
Application date： Sep. 20, 1995
Publication date： Mar. 31, 1997
Summary：

【要約】【課題】Z移動ステージを、くさび機構を介して上下移動させると共に、前記Z移動ステージをばね部材で支承して前記くさび機構に作用する負荷荷重を軽減するようにしたZ移動ステージ機構において、Z移動ステージの高さ変動により前記ばね部材のばね力が変化して、数mmの変化に対応する負荷変動となり、負荷荷重の軽減機能が損なわれるばかりでなく、Z移動ステージが変形する虞れがある。【解決手段】くさび機構15を介して上下移動させるZ移動ステージ2を支承するばね部材としての圧縮コイルばね35を、前記くさび機構15とくさびの傾斜方向を同一とした第2のくさび機構36で支承し、前記Z移動ステージ2の高さ変動H1 、H2 にかかわらず圧縮コイルばね35の全長hを一定としばね力を一定に保つようにしたものである。

Claim (excerpt)：

Z移動ステージを、くさび機構を介して上下移動させると共に、前記Z移動ステージをばね部材で支承して前記くさび機構に作用する負荷荷重を軽減するようにしたZ移動ステージ機構において、前記ばね部材を、前記くさび機構とくさびの傾斜方向を同一とした第2のくさび機構で支承し、前記Z移動ステージの高さ変動にかかわらず前記ばね部材のばね力を一定に保つようにしたことを特徴とするZ移動ステージ機構。

IPC (3)：

B66F 1/00 , B23Q 1/25 , H01L 21/68

FI (3)：

B66F 1/00 , H01L 21/68 K , B23Q 1/18 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

特開平3-053193
テーブル装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-324881 Applicant：株式会社東芝

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