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J-GLOBAL ID：200903030291348884
屈折率測定装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山田 正紀 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997337189
Publication number (International publication number)：1998232204
Application date： Dec. 08, 1997
Publication date： Sep. 02, 1998
Summary：
【要約】【課題】本発明は、試料の屈折率分布もしくは屈折率を測定する屈折率測定装置に関し、高散乱かつ屈折率の変化の大きな試料の屈折率分布や、均質な高散乱試料の屈折率を高精度に測定する。【解決手段】低干渉性の光ビームを用いた干渉計測を行ない、位相零点をモニタし、あるいは位相の変化量をモニタする。
Claim (excerpt)：
所定の低干渉性光ビームを出射する光源と、前記光源から出射された光ビームを物体光ビームと参照光ビームとに分割するビーム分割手段と、被測定対象試料が前記物体光ビームの光路上に着脱自在に配置される試料配置部と、前記物体光ビームにより、前記試料配置部に配置された試料を、該物体光ビームの光路に交わる方向に走査させる走査手段と、前記参照光ビームと、前記試料配置部を通過した物体光ビームとを互いに重畳することにより、干渉光ビームを生成するビーム重畳手段と、前記ビーム重畳手段により互いに重畳される前の物体光ビームおよび参照光ビームの光路長を相対的に調整する光路長調整手段と、前記干渉光ビームを受光することにより、前記物体光ビームと前記参照光ビームとの干渉状態をあらわす第1の干渉信号を得る受光手段と、前記光路長可変手段により前記第1の干渉信号が同一の位相状態に保たれるように光路長が調整されたときの、前記走査手段による走査の間の光路長の調整量に基づいて、前記試料配置部に配置された試料の屈折率分布もしくは屈折率を求める屈折率演算手段とを備えたことを特徴とする屈折率測定装置。
IPC (3)：
G01N 21/45
, A61B 10/00
, G01J 9/00
G01N 21/45 A
, A61B 10/00 E
, G01J 9/00
