Pat

J-GLOBAL ID：200903030309049081

ケミカルメカニカルポリッシング廃水処理方法

Inventor： 古藤 厳 ,  福田 博久
Applicant, Patent owner： 旭化成工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995280248
Publication number (International publication number)：1997117763
Application date： Oct. 27, 1995
Publication date： May. 06, 1997
Summary：

【要約】【課題】 高分子多孔質膜の劣化が少なく、濾過水が再利用できるケミカルメカニカルポリッシング廃水の処理方法を提供する。【解決手段】 過酸化水素を含むケミカルメカニカルポリッシング廃水を高分子多孔質膜濾過装置を用いて処理するに際し、該廃水中の過酸化水素を、過酸化水素分解酵素等により前処理装置であらかじめ分解し、該濾過装置に供給する。【効果】 過酸化水素による高分子多孔質膜の劣化が少なく、膜の寿命が長くなる。

Claim (excerpt)：

ケミカルメカニカルポリッシング廃水を高分子多孔質膜濾過装置を用いて処理するに際し、該廃水中の過酸化水素を前処理装置であらかじめ分解し、該濾過装置に供給することを特徴とするケミカルメカニカルポリッシング廃水処理方法。

IPC (4)：

C02F 1/44 ZAB ,  B01D 61/14 500 ,  B01D 61/16 ,  C02F 1/58

FI (4)：

C02F 1/44 ZAB E ,  B01D 61/14 500 ,  B01D 61/16 ,  C02F 1/58 H