Pat

J-GLOBAL ID：200903030333437351

ペリクル剥離装置

Inventor： 早野 史倫
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 佐藤 正年 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992352367
Publication number (International publication number)：1994175356
Application date： Dec. 11, 1992
Publication date： Jun. 24, 1994
Summary：

【要約】【目的】 人間の手を介さずに自動的にペリクルフレームをレチクルから剥離できるペリクル用剥離装置を得る。【構成】 レチクルとペリクルフレームとの間の接着剤に、該接着剤の接着力を低減させ且つペリクル膜に対して安定な剥離液を供給する剥離液供給手段と、前記レチクルからペリクルフレームを引張り剥離する剥離手段とを備えたものであるため、レチクルを汚染したり、傷付けたりせずに、容易にレチクルからペリクルフレームを剥すことができる。

Claim (excerpt)：

レチクル又はマスクに、前記レチクルを覆うペリクル膜を保持したペリクルフレームが接着剤を介して固着されたものからペリクルフレームを剥離する装置であって、前記レチクルとペリクルフレームとの間の接着剤に、該接着剤の接着力を低減させ且つ前記ペリクル膜に対して安定な剥離液を供給する剥離液供給手段と、前記レチクルからペリクルフレームを引張り剥離する剥離手段とを備えたことを特徴とするペリクル剥離装置。