Pat

J-GLOBAL ID：200903030338659646

プリエッチング剤

Inventor： 今泉 雅裕 ,  川田 義浩 ,  小林 巧 ,  梅山 智江 ,  新本 昭樹
Applicant, Patent owner： 日本化薬株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999095401
Publication number (International publication number)：2000282246
Application date： Apr. 01, 1999
Publication date： Oct. 10, 2000
Summary：

【要約】【目的】高耐熱型層間絶縁膜の表面粗化を容易に行い、優れたピール強度を付与し、且つ、有機溶剤の使用に伴う引火点等の安全性に問題がない、プリエッチング剤の提供。【解決手段】疎水性のアルコール類、及び親水性の溶剤または界面活性剤を含有する水性プリエッチング剤。

Claim (excerpt)：

疎水性のアルコール類、及び親水性の溶剤または界面活性剤を含有する水性プリエッチング剤。

IPC (8)：

C23C 18/22 ,  C09K 13/06 ,  C11D 1/22 ,  C11D 3/20 ,  C11D 3/43 ,  C11D 3/44 ,  H05K 3/18 ,  H05K 3/38

FI (8)：

C23C 18/22 ,  C09K 13/06 ,  C11D 1/22 ,  C11D 3/20 ,  C11D 3/43 ,  C11D 3/44 ,  H05K 3/18 K ,  H05K 3/38 A

F-Term (22)：

4H003BA12 ,  4H003DA15 ,  4H003EA21 ,  4H003EB22 ,  4H003ED02 ,  4H003ED28 ,  4H003ED29 ,  4H003ED30 ,  4H003ED31 ,  4H003ED32 ,  4H003FA01 ,  4K022AA18 ,  4K022AA42 ,  4K022BA08 ,  4K022CA02 ,  4K022CA22 ,  4K022CA23 ,  4K022DA01 ,  5E343CC24 ,  5E343EE32 ,  5E343EE37 ,  5E343GG02