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J-GLOBAL ID：200903030339236412

液晶表示素子の欠陥修正方法およびその装置

Inventor： 鈴木 堅吉 ,  松田 正昭 ,  荻野 利男
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 武 顕次郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995312729
Publication number (International publication number)：1997152568
Application date： Nov. 30, 1995
Publication date： Jun. 10, 1997
Summary：

【要約】【課題】金属、絶縁膜からなる多層構造の全ての種類の欠陥の修正を液晶表示素子の各基板の最終工程においてのみ欠陥修正をおこなう。【解決手段】液晶表示素子を構成する基板の最終段階において、基板に成膜した多層薄膜2、3、4をその上層からエキシマレーザーによるアブレーション現象または光分解反応性エッチングの何れかにより順次除去し、除去された欠陥部分に所要の薄膜2’、3’、4’を同レーザーを用いたLCVDによる局所成膜を各々独立に、または組み合わせて施す。

Claim (excerpt)：

基板上に形成した薄膜に存在する局所的な欠陥を修正する液晶表示素子の欠陥修正方法において、エキシマレーザーによるアブレーション現象または光分解反応性エッチングの何れかによる前記局所的な欠陥部分の薄膜の除去と、エキシマレーザーを用いたLCVDにより前記除去された欠陥部分に所要の薄膜を成膜することを特徴とする液晶表示素子の欠陥修正方法。

IPC (2)：

G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500

FI (2)：

G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500